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半導(dǎo)體行業(yè)

半導(dǎo)體行業(yè)
半導(dǎo)體行業(yè)
  • 機器視覺在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用——字符檢測
    一、半導(dǎo)體行業(yè)中的 機器視覺 應(yīng)用 (1)與其他行業(yè)相比,半導(dǎo)體行業(yè)最大的產(chǎn)業(yè)特點是生產(chǎn)過程完全離不開 機器視覺 技術(shù)??梢哉f,沒有 機器視覺 技術(shù),半導(dǎo)體行業(yè)就不能實現(xiàn)生產(chǎn)的正?;⒘慨a(chǎn)化。 (2) 機器視覺 技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用,有以下突出特點: 檢測要求高。 半導(dǎo)體行業(yè)對視覺產(chǎn)品的要求,如精度、穩(wěn)定性等等,遠遠高于其他行業(yè)。 行業(yè)規(guī)范高度統(tǒng)一。整個行業(yè)在各方面的規(guī)范程度都是高度統(tǒng)一的,這一點遠非其他行業(yè)所能比擬。因此,對于視覺企業(yè)來說...
    2024-06-29 17:17:46
  • 為什么我們看到的晶圓不是“圓”的?
    晶圓其實不是絕對“圓”的!即使拋開加工精度,晶圓也不是圓的! “111”P-type晶圓 就像上圖“111”P-type晶圓一樣,我們通??吹降木A,是有一個切口的。這個切口或是平切掉一塊,或是一個小小的缺口。為什么呢? 有個小缺口的晶圓 在硅晶圓片的制造和加工中,通常會在圓形表面上切割或研磨一個小的平面區(qū)域,這個區(qū)域被稱為flat zones(“切平區(qū)”或“研磨平面”)。切平區(qū)通常位于晶圓周邊的某個特定位置,這個位置的準確定義取決于晶圓的規(guī)格和設(shè)...
    2024-06-28 18:30:57
  • 常見的晶圓(Wafer)量測方法(二)
    1.非圖案晶圓檢測系統(tǒng) 非圖案晶圓檢測系統(tǒng)用于晶圓制造商的晶圓出貨檢驗、設(shè)備制造商的晶圓進貨檢驗以及使用假裸晶圓的設(shè)備狀況檢查,以監(jiān)測設(shè)備的清潔度。設(shè)備制造商在裝運檢查時也由設(shè)備制造商在裝運檢查時執(zhí)行設(shè)備狀態(tài)檢查,由設(shè)備制造商在設(shè)備進貨檢查時執(zhí)行。 為了檢查設(shè)備的清潔度,將用于清潔度監(jiān)測的裸晶圓裝入設(shè)備中,然后移動設(shè)備內(nèi)部的載物臺以監(jiān)測顆粒的增加。 下圖顯示了檢測非圖案化晶圓上缺陷的原理: 由于沒有圖案,因此無需圖像比較即可直...
    2024-06-28 14:31:54
  • 顯微鏡自動聚焦技術(shù)概述
    一、引言 隨著工業(yè)自動化的飛速發(fā)展,機器視覺逐漸開始在生產(chǎn)和檢測中取代傳統(tǒng)的人眼。對于機器視覺系統(tǒng)而言,聚焦是最核心的問題,如果焦距沒有調(diào)整好,拍攝出來的圖像是模糊的,后續(xù)的工作自然無從談起。在顯微鏡下,這個問題更加嚴峻,由于物鏡的景深很小,對調(diào)節(jié)的精度也提出了新的要求。因此,如何高速準確的聚焦是機器視覺領(lǐng)域的重點問題,而自動聚焦技術(shù)正是解決這該問題的關(guān)鍵技術(shù)。 二、原理 在半導(dǎo)體、生物等高精密領(lǐng)域,經(jīng)常需要用到較高倍率的顯微鏡進行檢測等工作...
    2024-06-27 11:45:38
  • 常見的晶圓(Wafer)量測方法(一)
    1.晶圓缺陷粒子檢測系統(tǒng) 顆粒和缺陷: 顆粒和缺陷導(dǎo)致晶圓表面不規(guī)則形貌。 散射入射光: 通過檢測散射光來監(jiān)測顆粒和缺陷。 晶圓缺陷檢測系統(tǒng)可以通過獲取缺陷的(X,Y)坐標來檢測晶圓上的物理缺陷(顆粒)和圖案缺陷并繪制map,這些顆??梢越柚馍⑸洮F(xiàn)象來檢測: 1)激光束在橢圓鏡的一個焦點處垂直掃描晶圓表面,光電探測器放置在另一焦點處; 2)移動晶圓,收集散射光以檢測微小顆粒和缺陷; 3)繪制晶圓表面上的顆...
    2024-06-27 11:42:06
  • AOI檢測在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的主要應(yīng)用
    1、AOI檢測屬于工業(yè) 機器視覺 產(chǎn)業(yè)鏈中視覺檢測的一部分 在工業(yè) 機器視覺 下游應(yīng)用領(lǐng)域中,AOI檢測廣泛應(yīng)用于PCB印制電路板、平板顯示和半導(dǎo)體等電子元器件領(lǐng)域。是目前PCB印制電路板和集成電路生產(chǎn)過程中,重要的組成部分。 2、AOI檢測已進入智能化發(fā)展階段 我國AOI檢測行業(yè)從20世紀80年代開始起步,迄今為止大致經(jīng)歷了四個階段,從1985年的空白期到目前為止的智能化階段,從人工目檢到3DAOI檢測技術(shù)的不斷應(yīng)用,隨著SMT組裝向精...
    2024-06-21 10:09:48
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